中国自主DUV光刻机启动量产，长鑫存储或成为首批应用客户

2026-07-27 51 次阅读 RSS订阅
主要结论：一家中国国有支持的公司已开始批量生产国产DUV光刻机。计划在2026年交付约5台，2027年约20台，供应给中芯国际、华虹和CXMT，以减少对外国设备的依赖。

📰 来源：techflowpost

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国产DUV光刻机启动量产将有效提升中国半导体设备的自主化水平。
计划2026至2027年陆续交付的5至20台设备，旨在减少对国外设备的依赖。
首批应用客户如中芯国际、华虹和CXMT，将受益于该国产设备的技术支持。

常见问题

哪家中国公司开始批量生产国产DUV光刻机？▼
DUV光刻机的交付计划是什么？▼
哪些公司将获得这些国产DUV光刻机？▼
此举的主要目的是什么？▼